蘇美達國際技術貿易有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2025-05-15在中國國際招標網公告。本次招標采用傳統招標方式,現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:設備名稱:多晶硅、硅刻蝕機
數量:1臺
設備原理及用途:
基本原理:在射頻電壓的作用下,溴化氫和氯氣產生的等離子體和多晶硅反應生成四氯化硅和溴化硅,溴化氫同時有側壁淀積作用,防止側腐,生成物被抽出腔體,最終達到刻蝕的目的。
用途:本設備為全新設備,主要用于8英寸MEMS器件各種產品生產中多晶硅導線、硅晶圓標記和硅淺槽的刻蝕工藝。
資金到位或資金來源落實情況:已到位
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:0664-2540SUMECA83/03
招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機
項目實施地點:中國安徽省
招標產品列表(主要設備):
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:①投標人如為境內企業,提供企業法人營業執照或事業單位法人證書,如為境外企業提供企業注冊登記證。
②投標人可以是設備制造廠家,也可以是設備授權代理商,代理商需有設備原廠家的有效授權書。
③投標人開戶行開具的,出具日期在開標前三個月內的資信證明原件或該原件的復印件。
④投標人需要具有履行合同所必需的設備技術支持和服務能力(提供相關證明材料或承諾書,承諾書格式自擬)。
⑤單位負責人授權書原件。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2025-05-15
招標文件領購結束時間:2025-05-22
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點:蘇美達大廈9樓西側(南京長江路198號)
招標文件售價:¥2000/$275
其他說明:每天9:00—11:30,14:00—17:30(北京時間,節假日除外)不購買招標文件的不得參加投標。聯系人郵箱:zhoucui@sumec.com.cn。
5、投標文件的遞交
投標截止時間(開標時間):2025-06-05 09:30
投標文件送達地點:安徽省蚌埠市經濟開發區東海大道888號中國傳感谷A區L型綜合配套樓5層
開標地點:安徽省蚌埠市經濟開發區東海大道888號中國傳感谷A區L型綜合配套樓5層
6、聯系方式
招標人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
地址:安徽省蚌埠市經濟開發區東海大道888號中國傳感谷A區L型綜合配套樓5層
聯系人:何一
聯系方式:18851776509
招標代理機構:蘇美達國際技術貿易有限公司
地址:南京長江路198號11樓
聯系人:江岳峰/朱志云/周 翠
聯系方式:18551719296、025-84531056
7、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):
招標代理機構開戶銀行(美元):
賬號(人民幣):
賬號(美元):
編輯:chinabidding.c1、招標條件
項目概況:設備名稱:多晶硅、硅刻蝕機
數量:1臺
設備原理及用途:
基本原理:在射頻電壓的作用下,溴化氫和氯氣產生的等離子體和多晶硅反應生成四氯化硅和溴化硅,溴化氫同時有側壁淀積作用,防止側腐,生成物被抽出腔體,最終達到刻蝕的目的。
用途:本設備為全新設備,主要用于8英寸MEMS器件各種產品生產中多晶硅導線、硅晶圓標記和硅淺槽的刻蝕工藝。
資金到位或資金來源落實情況:已到位
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:0664-2540SUMECA83/03
招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機
項目實施地點:中國安徽省
招標產品列表(主要設備):
序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
1 | 多晶硅、硅刻蝕機 | 1 | 該設備主要由主控制系統,全自動傳輸系統,1個刻蝕工藝腔,尾氣處理系統以及相應的射頻系統,氣路系統,制冷系統、真空系統等模塊組成。設備按照滿配來配置相關氣管、Cable、電磁閥、pμmp liner和gas liner等,便于未來增加工藝腔體(設備主體需要至少保留增加2個工藝腔的ai、ao、di/o、stepper等)。其他參數詳見第八章 | 無 |
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:①投標人如為境內企業,提供企業法人營業執照或事業單位法人證書,如為境外企業提供企業注冊登記證。
②投標人可以是設備制造廠家,也可以是設備授權代理商,代理商需有設備原廠家的有效授權書。
③投標人開戶行開具的,出具日期在開標前三個月內的資信證明原件或該原件的復印件。
④投標人需要具有履行合同所必需的設備技術支持和服務能力(提供相關證明材料或承諾書,承諾書格式自擬)。
⑤單位負責人授權書原件。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2025-05-15
招標文件領購結束時間:2025-05-22
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點:蘇美達大廈9樓西側(南京長江路198號)
招標文件售價:¥2000/$275
其他說明:每天9:00—11:30,14:00—17:30(北京時間,節假日除外)不購買招標文件的不得參加投標。聯系人郵箱:zhoucui@sumec.com.cn。
5、投標文件的遞交
投標截止時間(開標時間):2025-06-05 09:30
投標文件送達地點:安徽省蚌埠市經濟開發區東海大道888號中國傳感谷A區L型綜合配套樓5層
開標地點:安徽省蚌埠市經濟開發區東海大道888號中國傳感谷A區L型綜合配套樓5層
6、聯系方式
招標人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
地址:安徽省蚌埠市經濟開發區東海大道888號中國傳感谷A區L型綜合配套樓5層
聯系人:何一
聯系方式:18851776509
招標代理機構:蘇美達國際技術貿易有限公司
地址:南京長江路198號11樓
聯系人:江岳峰/朱志云/周 翠
聯系方式:18551719296、025-84531056
7、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):
招標代理機構開戶銀行(美元):
賬號(人民幣):
賬號(美元):